檢測目的：確定潔凈室空氣處理系統(tǒng)的容量，以維持空氣溫度和相對濕度在限度內(nèi)。
檢測儀器設備：數(shù)字溫濕度儀
檢測條件：靜態(tài)
平均溫度：19～21℃（ISO 4級潔凈室與更衣室）
     19.5～25℃（ISO 5級潔凈室與6級更衣室）
平均相對濕度：40%～70%
檢測步驟：
1、檢測進行前完成全部氣流平衡。
2、檢測進行前空調(diào)系統(tǒng)至少連續(xù)運行24h。
3、潔凈室劃分的檢測網(wǎng)格不大于40m²。
4、溫度、濕度計置于檢測網(wǎng)格中心，地板以上1m處。
5、當室內(nèi)存在障礙物，監(jiān)測點高于障礙物表面6英寸。
6、各網(wǎng)格的讀值需被記錄。
7、潔凈室平均溫度和平均相對濕度根據(jù)檢測數(shù)據(jù)進行計算。