粒子計(jì)數(shù)器法對粒子進(jìn)行計(jì)徑和計(jì)數(shù)。進(jìn)行該項(xiàng)檢漏時(shí)在過濾器上游引入人工氣溶膠，在過濾器的下風(fēng)向一側(cè)用粒子計(jì)數(shù)器掃描，驗(yàn)證過濾系統(tǒng)的完整性。
測試步驟如下：
1、進(jìn)行過濾系統(tǒng)檢漏前，確認(rèn)對設(shè)計(jì)風(fēng)速做了均衡調(diào)整。
2、向過濾器的送風(fēng)向中引入氣溶膠，其方式要使同時(shí)暴露在氣溶膠中的每臺過濾器獲得均勻的氣溶膠濃度。
3、在引入氣溶膠時(shí)測量上游粒子濃度。驗(yàn)證上游氣溶膠濃度要大于3.53*10⁷個(gè)/m³。該濃度將使掃描速度合理，更高的濃度將提高準(zhǔn)確性，并可提高掃描速度。
4、上游氣溶膠濃度連同下面規(guī)定的其他信息，將用于下式，以便使粒子計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)時(shí)計(jì)算合格的掃描速度。
5、用計(jì)算出的掃描速度，掃描探頭以稍微重疊的行程掃過濾器表面和過濾器組件的四周，使過濾系統(tǒng)的整個(gè)面積受到檢測。掃描時(shí)，探頭距受測面積約25mm。對過濾器的整個(gè)外周，連同過濾介質(zhì)與框架的黏結(jié)處，以及過濾器與安裝架的密封處，都要另外進(jìn)行掃描。
S_r=C_c*L_s*F_s*D_p/60*N_p
式中，S_r為合格的掃描速度（cm/s或in/s）
    C_c為上游氣溶膠濃度（個(gè)/L或個(gè)/ft³）
    L_s為顯著滲漏（上游氣溶膠濃度百分比）（一般為0.01%）
    F_s為所用儀器采樣流量（L/min或cfm）
    D_p為平行于掃描方向的探頭尺寸（cm或in）
    N_p為標(biāo)明滲漏的粒子計(jì)數(shù)值（1～10）
    60為轉(zhuǎn)換，60s/min
若騷尼奧過濾器及支撐組件時(shí)，粒子計(jì)數(shù)器探測超過N_p說明可能有滲漏。若粒子讀數(shù)超過N_p，如存在顯著滲漏，則要測定滲透過缺損處的粒子濃度。